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清华新型加速器光源研究取得进展 有望助力光刻机研发
新华社北京2月25日电（记者魏梦佳）清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与德国的研究团队25日在《自然》杂志上发表论文，报告了一种名为“稳态微聚束”（SSMB）的新型粒子加速器光源的原理验证实验。据悉，这项重要研究有望为光...
关键词： 光刻机 新型加速器 光源研究 稳态微聚束 新型粒子 智农361
http://www.ipa361.com/t/202102/157338.shtml 　2021-02-26