12亿美元订购光刻机，中芯国际签大单！上海临港也发布了重磅规划

到2025年，集成电路产业规模突破1000亿元！3月3日，上海临港新片区发布《中国（上海）自由贸易试验区临港新片区集成电路产业专项规划（2021-2025）》（以下简称《规划》），提出了这一目标。...
关键词： 临港 中芯国际 集成电路 自由贸易试验区 智农361

http://www.ipa361.com/t/202103/157411.shtml 　2021-03-05

清华新型加速器光源研究取得进展 有望助力光刻机研发

新华社北京2月25日电（记者魏梦佳）清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与德国的研究团队25日在《自然》杂志上发表论文，报告了一种名为“稳态微聚束”（SSMB）的新型粒子加速器光源的原理验证实验。据悉，这项重要研究有望为光...
关键词： 光刻机 新型加速器 光源研究 稳态微聚束 新型粒子 智农361

http://www.ipa361.com/t/202102/157338.shtml 　2021-02-26