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中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制...
关键词： 离子注入机 芯片 半导体材料
http://www.ipa361.com/t/202103/157539.shtml 　2021-03-17